Les pompes à vide miniatures sont des pompes qui utilisent du gaz comme fluide de travail principal. Adaptés au fonctionnement au ralenti et à sec à long terme, ils créent un vide (pression négative) en entraînant un diaphragme pour effectuer l'aspiration et la décharge du gaz via un mouvement alternatif entraîné par un moteur. Ces appareils comportent à la fois des buses d’aspiration et d’échappement. Les modèles spécialisés incluent des modèles à double-aspiration/expansion et eau/gaz pour s'adapter aux différentes conditions de fonctionnement.
Les composants de base comprennent la pompe à membrane et le contrôleur de vide. Un produit typique est le Busch RA0020F (vitesse de pompage 20 m³/h, pression ultime 0,1 mbar). Le développement technologique se concentre sur la miniaturisation, l'efficacité énergétique et l'intelligence, intégrant la technologie de lévitation magnétique, la technologie de lubrification sans huile-et une conception respectueuse de l'environnement. Les principales applications incluent les équipements médicaux (appareils d'aspiration, ventilateurs), la surveillance environnementale, la fabrication de semi-conducteurs et la nouvelle industrie énergétique. La taille du marché intérieur devrait atteindre 5 milliards de yuans en 2024.